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    Title: 繞射式元件之製程及特性分析;Fabrication and Analysis of Diffractive Optical Elements
    Authors: 簡伶鈺;Lin-Yu Jian
    Contributors: 物理研究所
    Date: 2001-07-12
    Issue Date: 2009-09-22 10:53:19 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 積體化微光電系統㆗所使用之微透鏡分為繞射式與折射式兩 種,這些微透鏡具有體積輕、重量小的特性,近年來已積極被研發 使用在DVD 雷射讀寫頭等應用當㆗。   本文將研究利用㆒般積體電路製程方式來製作繞射式微透鏡。 另外,利用灰階光罩來製作微透鏡,以做未來灰階光罩的製程依據。 本文採用之半導體製程方法包括微影技術及蝕刻。於元件製作完成 後,用表面輪廓量測(Dektak)以及掃描式電子顯微鏡(SEM)來量測蝕 刻後的形狀,並在利用杜曼-格林(Twyman-Green)干涉法以及雲紋 (moiré fringes) 干涉法來量測焦距。   本文並進㆒步分析微透鏡在製作的過程㆗所引起的蝕刻誤差造 成其光學特性的改變,計算元件在製作各步驟㆗誤差所容許的範圍, 以為製程之誤差提供參考依據。
    Appears in Collections:[物理研究所] 博碩士論文

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