非晶矽繞射光學元件的製作與分析; Fabrication and Analysis of Amorphous Silicon Diffractive Optical Elements

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Title:	非晶矽繞射光學元件的製作與分析;Fabrication and Analysis of Amorphous Silicon Diffractive Optical Elements
Authors:	陳建勳;Chien-Hsun Chen
Contributors:	物理研究所
Keywords:	繞射光學元件;非晶矽;Amorphous silicon;DOEs
Date:	2005-06-24
Issue Date:	2009-09-22 10:56:55 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	本實驗主要目的為以電漿輔助化學氣相沉積系統(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition : PECVD)在石英基板上成長平坦的非晶矽薄膜，並進一步以平坦的非晶矽薄膜製作高繞射效率二階相位Fresnel lens。在實驗中，改變電漿輔助化學氣相沉積系統的SiH4氣體流量、腔體工作壓力、RF power大小，成功沉積出表面粗度小於3nm的非晶矽薄膜。製作非晶矽薄膜二階相位Fresnel lens時，我們以G-solver軟體模擬及理論計算，求出當以入射光波長633nm，元件所需厚度，以期達到高繞射效率。再利用微影製程及蝕刻技術，製作出二階相位Fresnel lens，當厚度為320nm，有最高繞射效率可達32%，與模擬值34%相當接近。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Physics] Electronic Thesis & Dissertation

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