氮化鋁鎵銦藍紫光雷射二極體研製與特性分析

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Title:	氮化鋁鎵銦藍紫光雷射二極體研製與特性分析
Authors:	陳冠廷;Guan-Tin Chen
Contributors:	電機工程研究所
Keywords:	氮化鎵;雷射二極體
Date:	2001-07-15
Issue Date:	2009-09-22 11:41:15 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	本研究使用氮化鋁鎵銦系列材料製作藍紫光雷射二極體，論文內容著重在雷射二極體的研製與特性分析，目的是論述雷射二極體的兩個關鍵，一個為雷射鏡面的優劣﹔另外為p型歐姆接觸電阻值的影響。其共分為三個主要部分:(1) 雷射二極體結構與製程 : 以標準黃光微影製程製作雷射二極體，再用機械研磨製程磨薄基板後崩裂出雷射鏡面，最後用原子力顯微鏡及掃描式電子式顯微鏡檢驗雷射鏡面品質，並分析鏡面特性﹔(2) 光激發光譜 : 用雷射光激發具有鏡面的試片，觀察其雷射現象，由光譜結果檢驗雷射鏡面的優劣性以及雷射結構的品質﹔(3) 雷射二極體特性分析 : 量測雷射二極體的電流電壓特性，分析出雷射二極體主要問題，並以電激發光譜的結果顯示雷射二極體的困難性。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Electrical Engineering] Electronic Thesis & Dissertation

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