English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文筆數/總筆數 : 64745/64745 (100%)
造訪人次 : 20508117      線上人數 : 309
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜尋範圍 查詢小技巧:
  • 您可在西文檢索詞彙前後加上"雙引號",以獲取較精準的檢索結果
  • 若欲以作者姓名搜尋,建議至進階搜尋限定作者欄位,可獲得較完整資料
  • 進階搜尋


    請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/9545


    題名: 高反射p型氮化鎵歐姆接觸之研究;Low-resistance ohmic contacts with high reflectivity on p-type GaN
    作者: 方啟鑫;Chi-Shin Fang
    貢獻者: 電機工程研究所
    關鍵詞: 高反射;歐姆接觸;ohmic contact;reflectivity
    日期: 2003-10-03
    上傳時間: 2009-09-22 11:50:14 (UTC+8)
    出版者: 國立中央大學圖書館
    摘要: 本篇論文研究將針對在p型氮化鎵(p–type GaN)材料上進行高反射率歐姆接觸電極之製作,將紫外光波段上有高反射率的金屬材料,鋁(Al)、銀 (Ag)應用於歐姆接觸電極合金中,在與傳統之p型氮化鎵歐姆接觸電極合金 Ni/Au 相比較,新的金屬合金材料不但可以得到低阻值的歐姆接觸,並且可以提供良好的反射率,極適合作為覆晶發光二極體高紫光反射率接觸電極之應用。 在我們製作電極之前,需先將鎂原子在p型氮化鎵薄膜材料中活化,使其呈現高導電性,活化條件為750℃、30分鐘時具有最高濃度,其值約為1.49×1017 cm-3。而我們嘗試的金屬組合中,Ni/Ag/Au、Pd/Al/Ti/Au、Pd/Pt/Al/Ti/Au、Pd/Ni/Al/Ti/Au都有不錯的電性表現,其特徵阻值(specific contact resistance)分別為1.28×10-3(ohm-cm2)、6.69×10-3(ohm-cm2)、9.58×10-3(ohm-cm2)、1.01×10-2(ohm-cm2),而對應到370nm的反射率則分別為74%、75%、65%、70%。再針對反射率有上較佳表現的金屬組合探討其熱穩定性,其中Ni/Ag/Au、Pd/Al/Ti/Au、Pd/Pt/Al/Ti/Au有明顯變差的趨勢,因此我們結論為Pd/Ni/Al/Ti/Au為應用上較佳的金屬組合。 In this letter, we reported a low-resistance, thermally stable and high-reflectivity Pd(3 nm)/Ni(2 nm)/Al(150 nm)/Ti(20 nm)/Au(30 nm) Ohmic contact to p-type GaN: Mg (1.5×1017 cm-3 ). The specific contact resistance of the contact is as low as 1.23×10-2 ohm-cm2. After 48 hours annealing in a N2 ambient at 500℃, the specific contact resistance keeps below 1.5 ×10-2 ohm-cm2. The effect of Ni barrier layer of improvement of thermal stability in Pd(3 nm)/Ni(2 nm)/Al(150 nm)/Ti(20 nm)/Au(30 nm) is proposed and discussed in this work. Reflectivity of Pd(3 nm)/Ni(2 nm)/Al(150 nm)/Ti(20 nm)/Au(30 nm) Ohmic contact in the wavelength range of 350 to 400 nm is about 70%, which is expected to be beneficial for the fabrication of high efficiency nitride-based ultraviolet flip-chip light-emitting diodes.
    顯示於類別:[電機工程研究所] 博碩士論文

    文件中的檔案:

    檔案 大小格式瀏覽次數
    0KbUnknown875檢視/開啟


    在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

    社群 sharing

    ::: Copyright National Central University. | 國立中央大學圖書館版權所有 | 收藏本站 | 設為首頁 | 最佳瀏覽畫面: 1024*768 | 建站日期:8-24-2009 :::
    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 回饋  - 隱私權政策聲明