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--博碩士論文
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Item 987654321/9885
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題名:
選擇性氧化複晶矽鍺形成鍺量子點及其在金氧半浮點電容之應用
作者:
曾韋傑
;
Wei-Chieh Tseng
貢獻者:
電機工程研究所
關鍵詞:
鍺量子點
;
浮點電容
;
quantum dot
日期:
2005-07-04
上傳時間:
2009-09-22 11:58:55 (UTC+8)
出版者:
國立中央大學圖書館
摘要:
摘要 本論文中利用中央大學微光電實驗室的化學氣相沉積系統,主要藉由調變SiH4 與GeH4氣體流量比、反應環境溫度,得以調控複晶矽鍺薄膜中的鍺含量,並利用材料分析方面的儀器,找出最佳的複晶矽鍺製程條件。建立屬於我們實驗室機台的資料,日後如需要特定的鍺莫耳含量,僅需做反應溫度的微調。我們不但完成最佳化製程條件,並且成功的利用潛伏期這個擾人的因素,控制GeH4氣體通入腔體的流量隨著沉積時間增加而增加,如此漸增式的製程,能直接在穿檖氧化層上沉積複晶矽鍺量子點,其大小約25nm密度約1010cm-2,可直接運用在未來浮點電晶體的研究。 另外,經由實際製作金氧半浮點電容,分裂為三個不同的氧化時間,試圖找出元件最佳的氧化條件,觀察其C-V量測圖形,我們觀察到很明顯的順時針磁滯現象。雖然並不是如我們所預期的,觀察到量子點儲存電子造成逆時針磁滯。現在實驗室己經完成N2O的擴充,接下來將利用N2O良好的修補缺陷特性,改善因為缺陷造成的磁滯現象。
顯示於類別:
[電機工程研究所] 博碩士論文
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