Kinetic modeling of the NF3 decomposition via dielectric barrier discharges in N-2/NF3 mixtures

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题名:	Kinetic modeling of the NF3 decomposition via dielectric barrier discharges in N-2/NF3 mixtures
作者:	Chen,Hsin Liang;Lee,How Ming;Chang,Moo Been
贡献者:	環境工程研究所
关键词:	NONTHERMAL PLASMA REACTOR;N-2(A (3)SIGMA(+)(U));CHEMICAL-KINETICS;RATE CONSTANTS;FREE-RADICALS;GROUND-STATE;REMOVAL;GAS;RECOMBINATION;ABATEMENT
日期:	2006
上传时间:	2010-07-06 16:10:52 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Emission of PFCs (perfluorocompound) has attracted much attention in recent years due to its relatively high contribution to the global warming. Non-thermal plasma is one of the most promising technologies to effectively control the PFC emissions. In this
關聯:	PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
显示于类别:	[環境工程研究所 ] 期刊論文

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