Thickness and optical constants measurement of thin film growth with circular heterodyne interferometry

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题名:	Thickness and optical constants measurement of thin film growth with circular heterodyne interferometry
作者:	Hsu,CC;Lee,JY;Su,DC
贡献者:	機械工程研究所
日期:	2005
上传时间:	2010-07-06 16:27:32 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	in this article, we report an alternative method for in situ monitoring of the thickness and refractive index of thin film during the growth process. We design a special structure with a thickness-controlled air film to simulate the process of thin film g
關聯:	THIN SOLID FILMS
显示于类别:	[機械工程研究所] 期刊論文

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