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[電機工程研究所] 期刊論文
2008
Epitaxial AlN thin film surface acoustic wave devices prepared on GaN/sapphire using low-temperature helicon sputtering system
Kao,H. L.
;
Chen,W. C.
;
Chien,Wei-Cheng
;
Lin,Hui-Feng
;
Chen,Tzu Chieh
;
Lin,Chung Yi
;
Lin,Y. T.
;
Chyi,J. -I.
;
Hsu,C. -H.
[電機工程研究所] 期刊論文
2007
AIN/GaN heterostructure prepared using a low-temperature helicon sputtering system
Wu,J. D.
;
Chien,W. C.
;
Kao,H. L.
;
Chyi,J.-I.
;
Hsu,C.-H.
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