中大機構典藏-NCU Institutional Repository-提供博碩士論文、考古題、期刊論文、研究計畫等下載:Item 987654321/29770
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    题名: Deposition of Al-doped and Al, Sc-co-doped zinc oxide films by RF- and DC-sputtering of the ZnO and Al-xSc (x=0, 0.4, 0.8 and 1.7 wt.%) targets
    作者: Lin,Jing-Chie;Peng,Kun-Cheng;Tseng,C. A.;Lee,Sheng-Long
    贡献者: 材料科學與工程研究所
    关键词: HIGHLY TRANSPARENT;OPTICAL-PROPERTIES;MAGNETRON
    日期: 2008
    上传时间: 2010-07-06 15:57:31 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: Innovative films ZnO: Al-xSc (in which x = 0, 0.4, 0.8 and 1.7 wt.%) were prepared through RF-sputtering on the ZnO target and DC-sputtering on the Al-xSc alloy targets. X-ray diffraction (XRD) of the films displayed a hexagonal wurtzite textured at (002)
    關聯: SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY????
    显示于类别:[材料科學與工程研究所 ] 期刊論文

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