In situ sensitive optical monitoring with proper error compensation

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题名:	In situ sensitive optical monitoring with proper error compensation
作者:	Lee,Cheng-Chung;Wu,Kai
贡献者:	薄膜技術研究中心
关键词:	FILTERS
日期:	2007
上传时间:	2010-07-07 15:47:20 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	We introduce a way to estimate the fluctuation of the refractive index during thin film deposition, through an optical monitor. The thicknesses and error-compensated thickness for each layer are analyzed. A novel monitoring method is thereby derived. The
關聯:	OPTICS LETTERS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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