Reflection type heterodyne grating interferometry for in-plane displacement measurement

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题名:	Reflection type heterodyne grating interferometry for in-plane displacement measurement
作者:	Hsu,Cheng-Chih;Wu,Chyan-Chyi;Lee,Ju-Yi;Chen,Hui-Yi;Weng,Han-Fu
贡献者:	光機電工程研究所
关键词:	HIGH-RESOLUTION;UNCERTAINTY
日期:	2008
上传时间:	2010-07-08 09:43:19 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	A novel method is presented for one-dimensional (I-D) and two-dimensional (2-D) in-plane displacements measurement that is based on the heterodyne grating interferometry. The novel setup of the optical configuration reduces the airstreams disturbance and
關聯:	OPTICS COMMUNICATIONS
显示于类别:	[光機電工程研究所 ] 期刊論文

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