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    Title: 次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫三---塗佈設備機電系統整合及控制技術研發;The Study of Control and Mechatronic to a Slit Coating System
    Authors: 董必正
    Contributors: 機械工程學系
    Keywords: 彩色濾光片;狹縫式塗佈;壓電材料;摩擦力;適應性控制;光電工程;電子電機工程類;機械工程類
    Date: 2005-07-01
    Issue Date: 2010-11-30 15:12:22 (UTC+8)
    Publisher: 行政院國家科學委員會
    Abstract: TFT LCD 的製程,隨著玻璃基板尺寸逐步的增大,到了第七代,玻璃尺寸已經突破兩公尺。在如此大的基板上施行光阻塗佈,傳統的旋轉塗佈方法 (Spin Coating)已經不適用。由於需要寬度寬且膜厚一致的塗佈方法,慢慢的狹縫式塗佈技術(Slit Coating),漸能取代旋轉塗佈技術。本計畫主要是發展狹縫式塗佈設備的機電整合,除了建立各機構的製程功能外,也希望藉由控制方法,解決寬玻璃基板在塗佈上的製程問題。因越來越寬的玻璃基板,狹縫尺寸也必須對應的加長,但相對的,要產生寬且均勻的膜厚,實際上,因受限於狹縫模具與物理現象,也相對的困難。為改善此一問題,本計畫使用壓電材料產生脈波,針對模具內塗佈液施以擾動,使塗佈液出口能產生寬且一致的塗佈。又由於大的玻璃基板需要寬且長的機台,要維持設備機構構件在長行程下仍有高穩定的塗佈速度,對於一些非線性的現象,如摩擦力、背隙與飽和等,需要加以補償,才能確保在塗佈時,機台仍有理想的精度,避免因不準確的定位影響到製程。在設備精密定位方面,本計畫提出 Gradient Method 的方法,以適應性控制法,求出非線性的補償量。最後目的即是建立次世代狹縫式塗佈設備,主要目標是大面積玻璃基板的矩形塗佈。 研究期間:9308 ~ 9407
    Relation: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    Appears in Collections:[機械工程學系] 研究計畫

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