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Item 987654321/43451
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http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/43451
题名:
常壓氫電漿擴散在磷化銦智切法上之研究
;
Blistering in InP/InGaAs/InP p-i-n strucrure via hydrogen diffusion by atmospheric pressure plasma for Ion-Cut process
作者:
蔡勖升
;
Hsu-sheng Tsai
贡献者:
材料科學與工程研究所
关键词:
常壓電漿
;
智切法
;
磷化銦
;
InP
;
atmospheric pressure plasma
;
smart cut process
日期:
2010-07-05
上传时间:
2010-12-08 13:39:20 (UTC+8)
出版者:
國立中央大學
摘要:
常壓氫電漿擴散在磷化銦智切法上之研究 Blistering in InP/InGaAs/InP p-i-n strucrure via hydrogen diffusion by atmospheric pressure plasma for Ion-Cut process
显示于类别:
[材料科學與工程研究所 ] 博碩士論文
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