晶圓研磨漿料中微米級粒子分散劑之開發( I );The Development of Novel Dispersant for Micron-Size Abrasives in Wafer Polishing( I )

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Title:	晶圓研磨漿料中微米級粒子分散劑之開發( I );The Development of Novel Dispersant for Micron-Size Abrasives in Wafer Polishing( I )
Authors:	曹恆光
Contributors:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
Keywords:	微米級粒子的懸浮分散;溼式研磨漿料;半導體產業;新型分散劑;液體狀固體;dispersion of micron-sized abrasives;slurry for wet polishing;semiconductor industry;novel dispersant;liquid-like-solid (LLS)
Date:	2023-03-08
Issue Date:	2023-03-08 14:53:30 (UTC+8)
Publisher:	國家科學及技術委員會
Abstract:	本計畫針對長期由國外廠商獨佔的濕式研磨漿料，進行新型配方的開發與其相關機制的研究，目標在打破被長期壟斷的半導體前段研磨漿料市場。此舉將能降低台灣半導體產業的風險，以及針對未來先進製程的不同材料提前做準備，如此方能確保台灣的半導體產業能持續在全球保持領先地位。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Department of Chemical and Materials Engineering] Research Project

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