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    題名: 晶圓級超穎光學: 從設計、製造、到量測方法;Wafer Level Meta-Optics: from Design, Fabrication, to Characterization.
    作者: 王智明
    貢獻者: 國立中央大學光電科學與工程學系
    關鍵詞: 超穎光學;傅氏相位差顯微鏡;色彩路由器;點陣投影;影像感測器;meta-optics;Fourier phase contrast microscopy;color router;dot-projection;imaging sensor
    日期: 2024-09-27
    上傳時間: 2024-09-30 15:53:00 (UTC+8)
    出版者: 國家科學及技術委員會(本會)
    摘要: 本計畫旨在發展晶圓級超透鏡光學技術。我們將建立晶圓級超透鏡光學複振幅檢測技術,超透鏡光學複振幅檢測技術一直是超透鏡光學領域缺乏的技術,我們將發展多波長傅氏相位差顯微術,用於量測超透鏡光學元件相位空間分布,並利用共軛焦顯微鏡測量穿透率空間分布。 同時將發展兩個商業價值高的應用主題:【多指向性超透鏡光學元件:基於發散光源的FaceID超透鏡光學元件】其為同時具有匯聚和產生點陣功能的超透鏡光學元件,另一應用【基於KrF 248 nm曝光機製程限制的色彩路由器:高效率影像感測器】。我們將研發符合KrF 248 nm曝光機製程限制的可見光色彩路由器,作為影像感測器外部量子效率高於120%的光捕獲結構。
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[光電科學與工程學系] 研究計畫

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