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光電科學與工程學系
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Item 987654321/94096
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http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/94096
題名:
晶圓級超穎光學: 從設計、製造、到量測方法
;
Wafer Level Meta-Optics: from Design, Fabrication, to Characterization.
作者:
王智明
貢獻者:
國立中央大學光電科學與工程學系
關鍵詞:
超穎光學
;
傅氏相位差顯微鏡
;
色彩路由器
;
點陣投影
;
影像感測器
;
meta-optics
;
Fourier phase contrast microscopy
;
color router
;
dot-projection
;
imaging sensor
日期:
2024-09-27
上傳時間:
2024-09-30 15:53:00 (UTC+8)
出版者:
國家科學及技術委員會(本會)
摘要:
本計畫旨在發展晶圓級超透鏡光學技術。我們將建立晶圓級超透鏡光學複振幅檢測技術,超透鏡光學複振幅檢測技術一直是超透鏡光學領域缺乏的技術,我們將發展多波長傅氏相位差顯微術,用於量測超透鏡光學元件相位空間分布,並利用共軛焦顯微鏡測量穿透率空間分布。 同時將發展兩個商業價值高的應用主題:【多指向性超透鏡光學元件:基於發散光源的FaceID超透鏡光學元件】其為同時具有匯聚和產生點陣功能的超透鏡光學元件,另一應用【基於KrF 248 nm曝光機製程限制的色彩路由器:高效率影像感測器】。我們將研發符合KrF 248 nm曝光機製程限制的可見光色彩路由器,作為影像感測器外部量子效率高於120%的光捕獲結構。
關聯:
財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:
[光電科學與工程學系] 研究計畫
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