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[光電科學研究中心] 研究計畫
2012-12-01
高效率新型超淺接面矽晶太陽電池關鍵技術之研發與製作;The Research and Fabrication of High Efficiency Si Crystal Solar Cells with Ultra Shallow Junction
張正陽
;
陳昇暉
;
利定東
;
陳一塵
;
李建階
[機械工程研究所] 研究計畫
2013-12-01
LED磊晶關鍵耗材研發;The R&D of LED Key Consumables
利定東
;
蕭述三
;
楊萬嶸
;
楊繼仁
;
胡智愷
;
胡立成
;
何國鴻
;
葉哲宏
[機械工程學系] 研究計畫
2023-07-17
基於電漿資訊之虛擬計量系統應用於半導體氮化鋁薄膜品質預測;Application Plasma Information Vi Rtual Metrology (Pi-Vm) Based System for Quality Prediction of Semiconductor Aluminum Nitride Thin Films
傅尹坤
;
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2016-08-31
MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育(III);Development of Technology for Key Components in MOCVD and Cultivation of Manpower( III )
陳志臣
;
蕭健男
;
利定東
;
蕭述三
;
林志光
;
李朱育
[機械工程學系] 研究計畫
2015-01-08
MOCVD高溫反應腔體熱流場優化及載盤材料模擬分析與實作驗證;The Optimization Analysis and Verification of Flow Field and Susceptor Material in High Temperature Reactor
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2014-03-11
MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育( I );Development of Technology for Key Components in MOCVD and Cultivation of Manpower( I )
陳志臣
;
蕭述三
;
利定東
;
林志光
;
蕭健男
;
李朱育
[機械工程學系] 研究計畫
2013-12-01
應用於太陽能矽基薄膜製程之電子迴旋共振氣相沉積診斷系統改良及沉積機制研究;Dignostic system improvement and thin film deposition mechanism study by using ECR/ICP CVD processing system on silicon solar thin film application.
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2013-05-01
MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育 ; Development of technology for key components in MOCVD and cultivation of manpower
陳志臣
;
蕭健男
;
李朱育
;
利定東
;
蕭述三
;
林志光
[機械工程學系] 研究計畫
2012-12-01
應用於太陽能矽基薄膜製程之電子迴旋共振氣相沉積診斷系統改良及沉積機制研究;Dignostic System Improvement and Thin Film Deposition Mechanism Study by Using ECR/ICP CVD Processing System on Silicon Solar Thin Film Application.
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2012-09-01
應用於太陽能矽基薄膜製程之電子迴旋共振氣相沉積診斷系統改良及沉積機制研究;Dignostic System Improvement and Thin Film Deposition Mechanism Study by Using Ecr/Icp Cvd Processing System on Silicon Solar Thin Film Application.
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2012-01-01
ECR-ICP CVD高密度混成電漿應用在矽薄膜HIT電池之開發及應用;Ecr-Icp Cvd with Hybrid High Density Plasma in Heterojunction Solar Cell Development and Application
利定東
;
李建階
[機械工程學系] 研究計畫
2011-08-01
應用電子迴旋共振氣相沉積之太陽能矽薄膜製程與設備系統整合及改良;Ecr/Icp Cvd Process Equipment Improvement and Integration for Silicon Solar Thin Film Application.
利定東
[機械工程學系] 研究計畫
2011-01-01
VHF與ECR/ICP混成電漿成膜機制模擬分析與探討;Mechanism, Simulation, Analysis and Investigation on Vhf and Ecr/Icp Hybrid Plasma Deposition
利定東
;
李泉
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