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[機械工程學系] 研究計畫
2024-01-26
開發複合金屬薄膜蝕刻製程用於A世代元件製程;Development of Plasma Ion Etching Composite Metal Process and Generation a Device Process
李雄朱
[機械工程學系] 研究計畫
2023-03-08
開發複合金屬薄膜蝕刻製程用於A世代元件製程;Development of Plasma Ion Etching Composite Metal Process and Generation a Device Process
李雄朱
[機械工程學系] 研究計畫
2020-12-08
數值模擬原子層沉積之工作壓力與時間並應用於微溝槽與電晶體;The Numerical Investigation of Operating Pressure Influence in Exposure Time Introduced Atomic Layer Deposition Process over Micro Trenches and Field-Effect Transistor
李雄朱
[機械工程學系] 研究計畫
2020-01-13
應力加工電極模組絕緣開發用於航太流量感應器;Development of Aerospace Flow Sensor in Stress-Free Machining Electrode Modules
李雄朱
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